Спиральная безмасляная откачка

Принцип действия

Неподвижная и орбитально движущаяся спирали формируют серповидные газовые полости. Газ поступает с периферии, перемещается к центру, сжимается и выходит через выпуск. Орбитальная спираль не вращается вокруг собственной оси.

Что означает «безмасляный»

В рабочей полости и газовом тракте нет масла. Смазка может присутствовать в изолированных подшипниках или приводе. Чистота вакуумной системы также зависит от трубопроводов, камеры, уплотнений и процесса.

Эффективная быстрота действия

1 / S_эфф = 1 / S_насоса + 1 / C

Проводимость C зависит от режима течения, диаметра, длины, формы, давления, температуры и состава газа. Поэтому паспортная быстрота насоса не равна быстроте у камеры.

Газовая нагрузка

p = Q / S_эфф

В Q входят технологический поток, газовыделение, проницаемость, виртуальные и реальные течи.

Предварительное время откачки

t ≈ (V / S_эфф) × ln(p₁ / p₂)

Формула применима только как оценка при условно постоянной быстроте и малой газовой нагрузке. Реальное время увеличивают проводимость, влажность, десорбция, течи, клапаны и изменение характеристик насоса с давлением.