Выбор диаметра и длины вакуумной линии

Проводимость зависит от режима течения, диаметра, длины, формы, температуры и газа. Сужения, длинные линии и лишние повороты снижают эффективную быстроту у камеры.

Практическая граница

Это предварительная инженерная оценка. Решение принимают по полной кривой насоса, компоновке и составу газа. Для серии GWSP предусмотрена работа с чистым процессом при температуре входящего газа не выше 50 °C.

Связанные разделы

Сравнить модели · Подготовить данные для подбора · Открыть глоссарий